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標(biāo)題: Sensofar共聚焦白光干涉儀于傳統(tǒng)白光干涉儀的區(qū)別 [打印本頁(yè)]
作者: xiaobaba    時(shí)間: 2025-1-21 15:56
標(biāo)題: Sensofar共聚焦白光干涉儀于傳統(tǒng)白光干涉儀的區(qū)別
　　Sensofar共聚焦白光干涉儀與傳統(tǒng)白光干涉儀在測(cè)量原理、功能及應(yīng)用特點(diǎn)上存在顯著差異。以下是對(duì)這兩者的詳細(xì)比較：

　　一、測(cè)量原理
　　1.傳統(tǒng)白光干涉儀：
　?。?）基于白光干涉技術(shù)，通過(guò)不同光學(xué)元件形成參考光路和檢測(cè)光路。
　?。?）利用白光作為光源，結(jié)合精密Z向掃描模塊和3D建模算法，對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像。
　　（3）通過(guò)系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，實(shí)現(xiàn)器件表面形貌的3D測(cè)量。
　　2.Sensofar共聚焦白光干涉儀：
　?。?）結(jié)合了共聚焦技術(shù)和白光干涉技術(shù)，具有更高的測(cè)量精度和靈活性。
　?。?）共聚焦技術(shù)通過(guò)放置在光源后的照明針孔和放置在檢測(cè)器前的探測(cè)針孔，實(shí)現(xiàn)點(diǎn)照明和點(diǎn)探測(cè)。
　?。?）白光干涉技術(shù)則用于掃描光滑到中等粗糙表面的表面高度，提供高精度的測(cè)量數(shù)據(jù)。

　　二、功能及應(yīng)用特點(diǎn)
　　1.傳統(tǒng)白光干涉儀：
　?。?）多用于測(cè)量大范圍光滑的樣品，尤其擅長(zhǎng)亞納米級(jí)超光滑表面的檢測(cè)，追求檢測(cè)數(shù)值的精準(zhǔn)。
　?。?）提供高精度的表面形貌測(cè)量數(shù)據(jù)，測(cè)量范圍大，適用于大尺寸樣品的測(cè)量。
　　（3）具有自動(dòng)拼接測(cè)量、定位自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量等功能，可實(shí)現(xiàn)大區(qū)域、高精度的測(cè)量。
　　2.Sensofar共聚焦白光干涉儀：
　?。?）在具備數(shù)百微米的高度掃描范圍的同時(shí)，也能擁有0.1nm的高度測(cè)量分辨率，從而克服了傳統(tǒng)測(cè)量方式的技術(shù)限制。
　?。?）提供了更豐富的測(cè)量和分析功能，如表面粗糙度、波紋度、形狀和尺寸等參數(shù)的測(cè)量。
　　（3）配備真彩相機(jī)，提供還原的3D真彩圖像，對(duì)細(xì)節(jié)的展現(xiàn)更為清晰，便于觀察和分析。
　?。?）結(jié)構(gòu)相對(duì)簡(jiǎn)單，由輕量化的設(shè)備主機(jī)和電腦構(gòu)成，便于攜帶和移動(dòng)。
　　（5）操作便捷，采用全電動(dòng)化設(shè)計(jì)，無(wú)縫銜接位移軸與掃描軸的切換，提高了測(cè)量效率。
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　　三、總結(jié)
　　綜上所述，Sensofar共聚焦白光干涉儀在測(cè)量原理、功能及應(yīng)用特點(diǎn)上相較于傳統(tǒng)白光干涉儀具有顯著優(yōu)勢(shì)。它結(jié)合了共聚焦技術(shù)和白光干涉技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)，提供了更高的測(cè)量精度和更豐富的測(cè)量功能。同時(shí)，其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作便捷的特點(diǎn)也使得它在微納米級(jí)表面光學(xué)分析領(lǐng)域具有更廣泛的應(yīng)用前景。選擇哪種儀器取決于具體的測(cè)量需求和樣品特性。

作者: 慢慢即漫漫    時(shí)間: 2025-1-21 15:56
我完全同意你的看法。
作者: 秋高氣爽    時(shí)間: 2025-1-21 15:56
你給出了一些建設(shè)性的建議。



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