半導體冷熱臺

小鵲被打扁了

半導體冷熱臺介紹
半導體冷熱探針臺特點：
升溫速度可精確控制，精度達±0.25℃
體積小巧，占地空間小
無噪聲、無振動、體積小、重量輕
支持與各類顯微鏡、光譜儀等光學儀器設備
模塊化設計，可根據(jù)客戶要求定制
無需液氮制冷耗材
半導體冷熱臺用途：
半導體冷熱探針臺測試儀，用于芯片、氣敏元器件等在不同氣氛環(huán)境下電學性能，也可用變溫光學測試、變溫電學測試、材料表征等分析。廣泛應用于半導體電學性能測試、物理研究、氣敏分析、鋰電池測試、LED、LCD、二維材料測試、電鏡掃描、太陽能電池等行業(yè)的制造和研究領等系統(tǒng)中的重要部件。
腔體材質：AL6061(可定制SUS304腔體)密封方式：氟膠圈    抽氣口:KF16 電信采集接口：標配BNC接口腔體進氣口：6mm(特殊可定制)腔體外尺寸：110mm×100mm×38mm樣品臺尺寸：φ35mm樣品觀察窗：φ35mm
真空系統(tǒng)
機械泵（飛躍）:2.2L/S(真空度1*10-1Pa)（不包含真空計）
分子泵組（Leybold）:90L/S(真空度5*10-5Pa)
復合真空計（Leybold )TR90(大氣至5*10-7Pa)主體需要采用
不銹鋼材質，才能抽到高真空